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リオン(株)

ケミカル用パーティクルセンサー KS-17A

010029-04

仕様

  • ●半導体プロセスで使用される各種薬液中の微粒子を測定
    ●ケミカル用粒子汚染管理インラインパーティクルセンサー
    ●多点モニタリングシステム用In-situモニター
    ●リアルタイムモニタリングセンサーとしてプロセス管理に最適