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神港精機(株)

メカニカルブースタポンプ SMB型

010520-01

仕様

  • 高効率真空システムに不可欠な、抜群の排気特性を誇るメカニカルブースタポンプです。
    ●熱処理関係:粉末金属の焼結、真空溶解、真空脱ガス、真空焼入
    ●原子核原子力工業:核燃料の溶解、プラズマ発生装置、原子炉のガス回収
    ●電子電気工業:薄膜抵抗の製造、電子部品のベーキング、真空乾燥、真空含浸
    ●化学工業:溶剤回収、真空蒸留
  • 型式末尾のMはマグネットカップリングによる大気圧駆動型ポンプを示します。
    インバータによる大気圧駆動型ポンプもあります。

ユニット

12件中 12件を表示

(注)1.質量は電動機質量を含みません。
2.VF・VGはJIS B 2290真空装置用フランジです。

商品コード メーカー型番 排気速度(m3/hr)
(50Hz)
排気速度(m3/hr)
(60Hz)
到達圧力
(Pa)
標準価格
326006010 SMB-200 C1 160 190 0.2 673000
326006015 SMB-200 C2 130 150 430 673000
326006020 SMB-C06 C1 500 600 0.13 906000
326006025 SMB-C06 C2 500 600 330 906000
326006030 SMB-C15 C1 1250 1500 0.13 1384000
326006035 SMB-C15 C2 1050 1250 300 1405000
326006040 SMB-C25 C1 2100 2500 0.13 1949000
326006045 SMB-C25 C2 2100 2500 10 1969000
326006050 SMB-5000 C1 4800 4800 0.13 3188000
326006055 SMB-5000 C2 4400 4400 11 3249000
326006060 SMB-10000 10500 10500 0.07 都度見積
326006065 SMB-20000 都度見積