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(株)小坂研究所

全自動微細形状測定機 ET4000A

050045-04

仕様

  • ■特長
    ●縦分解能0.0001μm、横分解能0.01μmと高分解能で、極微細形状が測定可能。
    ●軟質試料面に対応するため、測定力コントロール機能を採用。
    ●検出器やX・Yテーブル移動の測定自動化要素を組み合わせて、試料面の複数箇所(最大20ヶ所)を自動的に測定し、評価することが可能。
    ●段差、ピッチなど形状解析をはじめ、規格に準拠した表面粗さが解析可能。
    ●FPD基板・ウェハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適

掲載カタログ

杉本商事 測定機器カタログ Vol.6