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(株)ニコン

CNC画像測定システム NEXIV VMZ-Rシリーズ

050064-02

仕様

  • ■特長
    多彩な立体部品の寸法・形状をより高速・高精度に自動測定。サンプルに応じたきめ細かな設定が可能。
  • □ズームヘッド(3種6タイプ)
    ■標準型ズームヘッド(タイプ1~3)
    ●タイプ1:0.5×~7.5×
    タイプ2:1×~15×
    タイプ3:2×~30×
    ●垂直落射/透過/8分割リング(3入射角)の3種類の照明を備えた、低倍~中倍域観察/測定向けのズームヘッドです。サンプルの測定寸法と必要倍率に応じて、各5段階ズームを持つ3タイプからお選びいただけます。
    ■高倍率ズームヘッド(タイプ4、タイプTZ)
    ●タイプ4:4×~60×
    タイプTZ:1×~7.5×/16×~120×
    ●中倍~高倍域観察/測定に適したタイプ4と、低倍から高倍までを1台でカバーできるタイプTZの2種をご用意しています。タイプ4は垂直落射/透過/8分割リング(1入射角)、タイプTZは垂直落射/透過(高倍のみ)/暗視野照明を備えています。
  • ■広視野ズームヘッド(タイプA)
    ●タイプA:0.35×~3.5×
    ●長作動距離が特長の低倍ズームヘッドです。垂直落射/透過/8分割リング照明(1入射角)の3種の照明を備えています。
    ■ステージストローク(3タイプ)
    ●スタンダードストローク(300×200mm、VMZ-R 3020)
    ●機械部品、モールド部品から高密度プリント基板まで、多種多様な測定ニーズに応えます。
    ●タイプ1~3:パッケージ、基板、プレス部品、小型部品、時計部品、自動車用金物部品など
    ●タイプ4/TZ:高密度基板、基板露光マスク、パッケージ(2次元+高さ)、MEMS部品、リードフレームなど
    ●タイプA:プレス部品、スプリング、ゴム成型部品など
  • ■中ストローク(450×400mm、VMZ-R 4540)
    ●各種モールド部品、中型フラットパネル、PCBに最適です。
    ●タイプ1~3:半導体パッケージ、プレス部品など
    ●タイプ4/TZ:300mmウエハ、プロープカードなど
    ●タイプA:モールド部品、燃料電池部品など
    ■大ストローク(650×550mm、VMZ-R 6555)
    ●大型サンプルに対応した大ストロークモデル。
    ●小物部品を多数個並べての自動測定やプリント基板の精密測定に威力を発揮します。
    ●タイプ1~3:パッケージ/プレス部品/プリント基板/成型品(多数個)、基板、基板用印刷マスクなど
    ●タイプ4/TZ:高密度パッケージ基板など
    ●タイプA:大型プレス部品など

掲載カタログ

杉本商事 測定機器カタログ Vol.6