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長野計器(株)

圧力トランスデューサ/トランスミッタ

050436-05

仕様

■特長

  • ●蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路とで圧力を電気信号に変換し伝送する半導体産業用に開発したウルトラクリーン(UC)仕様の圧力変換器です。
    ●半導体プロセス用、高純度ガス用としてご使用いただける信頼性の高い製品です。
  • ●外部リーク量を最大限抑えました。
  • ●ガスが滞留するデッドゾーンがほとんどありません。
  • ●接ガス部表面がサブミクロンクラスの面粗さとなっており、吸着ガスやパーティクルの発生を抑えています。
  • ●小型・軽量ですので装置のコンパクト化が図れます。
    ●ZT15についてはCEマーキング対応品の製作も可能です。(EMC適合指令:2004/108/EC、適合規格:EN61326-1:2006・EN61326-2-3:2006)*
    *雷等による過電圧の影響を受けない屋内配電網に接続しご使用ください。
    ●1.5集積化タイプも製作対応可能です。
    (詳細仕様はお問い合わせください。)
    ※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。

掲載カタログ

杉本商事 測定機器カタログ Vol.6