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日商精密光学(株)

AF・ミクロン深さ高さ測定機 AFM-90

060524-01

仕様

  • ■特長
    ●光切断によるスリット像観察とスポット光像によるAF(オートフォーカス)追従を組み合わせた深さ高さ測定機。
    ●連続追従性の高いAF駆動と、繰り返し精度のよい測定が、自動スイッチONと同時にXY軸移動のテーブル上で迅速に行えます。
    また、自動スイッチのOFFで手動のミクロン深さ高さ測定機としてお使いいただけます。
  • ●スリット像が映し出す段差形状を観察しながら測定する方式なので、測定画面上の高低をリアルタイムで認識でき、測定が必要な箇所を容易に判断できます。
    ●測定点でスリット像・スポット光像・電子ライン基準線の中心がすべて一致する測定システムで、そのずれのチェックにより誤った数値での測定を防止することができます。
    ●光切断の仰角は標準の90°のほか、30°、60°、120°と用途に応じて選択導入できます。
  • ■用途
    機械加工部品、成型品、フィルム、基板等の凹凸、搭載部品の高さ位置、プレス部品、金型および加工品、その他の精密加工品の測定・検査に最適です。
  • ■システムの説明
    深さ、高さ、段差を明確に示す光切断法:断面形状を表す細いスリット光と、赤色のレーザースポット、段差の変化を自動的に捉え、Z軸機能が素早く追従し、測定数値のデジタル表示をする(オートフォーカス・システム)機能と、電子ライン方式の基準線を組み合わせた、測定範囲を広げ、利用価値が大きくなった、新しいタイプの深さ高さ測定機です。

掲載カタログ

杉本商事 測定機器カタログ Vol.6